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《低压化学气相沉积》

互联网 2021-04-21 10:35:29

化学气相沉积法目前已经发展成为批量制备Tan纳米管的最有效率方法之一。现代科学和技Shu需要使用大量功能各异的无机新材料这Xie功能材料必须是高纯的或者是在高纯Cai料中有意地掺人某种杂质形成的掺杂材料。Dan是我们过去所熟悉的许多制备方法如高温Rong炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要Qiu也难以保证得到高纯度的产品。因此无Ji新材料的合成就成为现代材料科学中的Zhu要课题。化学气相淀积是近几十年发展起来De制备无机材料的新技术。化学气相淀积法Yi经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各Zhong单晶、多晶或玻璃态天机薄膜材料。这些材料可以Shi氧化物、硫化物、氮化物、碳化物也Ke以是III-V、II-IV、IV-VIZu中(全文还有809字)

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